クリーンルームの空気中に含まれる微粒子の数と大きさを測るために使われる装置はどれか。

正解：A. 光散乱式パーティクルカウンタ

光散乱式パーティクルカウンタは、吸い込んだ空気にレーザー光を当て、粒子が散乱する光の強さから粒子の大きさを、パルスの数から個数を求めます。クリーンルームの清浄度の評価や、日常の監視に使われます。

• A. 正しい。散乱光で粒子を数えます。
• B. 四探針測定器は薄膜やウエハの抵抗率を測る装置です。
• C. エリプソメータは薄膜の厚さや屈折率を測る装置です。