Wat is Multi-patterning?

Techniek waarbij patronen met een te fijne pitch voor één belichting over meerdere belichtingen en bewerkingen worden verdeeld. De variant met twee stappen heet double patterning.

Japanse benaming: マルチパターニング

Vakgebied: Lithografie

Verwante termen

Antireflectiecoating (BARC) ArF-excimeerlaser Chemisch versterkte resist (CAR) EUV-belichting Fasenverschuivingsmasker (phase-shift mask) Fotomasker (reticle) Fotoresist High-NA EUV Immersielithografie Line edge roughness (LER)

Naar de woordenlijst