Nederlands
Menu

Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

Hoe heet het afstellen en beheren van meerdere apparaten van hetzelfde type, zodat de verschillen in bewerkingsresultaat tussen apparaten of kamers klein worden?

  1. ALithografie
  2. BChamber matching (onderlinge afstemming van apparaten)
  3. CGettering
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Chamber matching (onderlinge afstemming van apparaten)

In massaproductiefabrieken wordt hetzelfde proces parallel in veel apparaten en kamers uitgevoerd; als de bewerkingsresultaten verschillen, variëren de productkenmerken naargelang het apparaat waar het product doorheen is gelopen. Het afstellen en bewaken van onderdeeltoestand, sensorwaarden en bewerkingsresultaten, zodat deze gelijk worden, heet chamber matching. Ook na onderdeelvervanging en onderhoud is controle nodig, en het is onmisbaar voor het verminderen van variatie en voor de uitwisselbaarheid van apparatuur.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

  1. Uit één wafer worden 500 chips verkregen, waarvan er 450 goed zijn. Hoe groot is de yield van deze wafer?
  2. Wat gebeurt er in het algemeen met de yield wanneer bij gelijke defectdichtheid het chipoppervlak groter wordt?
  3. Hoe worden de regelgrenzen in een regelkaart (Shewhart-regelkaart) voor procesbeheersing in het algemeen vastgesteld?
  4. Wat is het juiste doel van het paretodiagram dat bij kwaliteitsbeheer wordt gebruikt?
  5. Welke formule geeft de procescapabiliteitsindex Cp (wanneer het midden van de specificatie samenvalt met het procesgemiddelde)? (σ: standaardafwijking van het proces)