Rendement et contrôle qualité
Lorsque plusieurs équipements du même type sont disponibles, comment appelle-t-on l'ajustement et la gestion visant à réduire les écarts de résultats de traitement entre équipements ou chambres ?
- ALithographie
- BAppariement des chambres (chamber matching)
- CGettering
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Réponse : B. Appariement des chambres (chamber matching)
Dans une usine de production de masse, une même étape est réalisée en parallèle sur de nombreux équipements et chambres ; si leurs résultats diffèrent, les caractéristiques des produits varient selon l'équipement emprunté. L'ajustement et la surveillance visant à aligner l'état des pièces, les valeurs des capteurs et les résultats de traitement sont appelés chamber matching. Une vérification est également nécessaire après remplacement de pièces ou maintenance ; c'est indispensable pour réduire la variabilité et faciliter l'affectation interchangeable des équipements.
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