Wie heißt es, wenn bei mehreren Anlagen derselben Art Anlagen oder Kammern so eingestellt und gesteuert werden, dass der Unterschied der Bearbeitungsergebnisse zwischen ihnen klein wird?

Antwort: B. Chamber Matching (Angleichung zwischen Anlagen)

In Serienfabriken wird derselbe Prozess parallel in vielen Anlagen und Kammern abgewickelt; unterscheiden sich deren Bearbeitungsergebnisse, streuen die Produkteigenschaften je nachdem, durch welche Anlage sie liefen. Das Einstellen und Überwachen, sodass Zustand der Teile, Sensorwerte und Bearbeitungsergebnisse angeglichen werden, heißt Chamber Matching. Auch nach Teiletausch und Wartung ist eine Bestätigung nötig, und es ist unverzichtbar für die Verringerung der Streuung und die flexible Austauschbarkeit der Anlagen.