良率與品質管理

將製造的變異依批次間、晶圓間、晶圓內等要因分別評估,其目的下列何者正確?

  1. A瞭解哪一個層級的變異較大,以縮小造成變異的製程或設備範圍
  2. B為了決定產品的售價
  3. C為了使晶圓的顏色一致
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正確答案:A. 瞭解哪一個層級的變異較大,以縮小造成變異的製程或設備範圍

依變異的層級不同,應懷疑的原因也不同:批次間的變異大,是材料或設備狀態隨時間的變化;晶圓間的變異大,是腔體的差異或處理的順序;晶圓內的變異大,則是設備的面內均勻性。若以變異數分析等求出各要因的大小,就能從最有效的對策著手。它並不是用來決定價格或顏色的。

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