Quel est l'objectif de la décomposition de la variabilité de fabrication par facteur (entre lots, entre wafers, intra-wafer, etc.) ?

Réponse : A. Savoir quel niveau présente la plus grande variabilité afin de cibler l'étape ou l'équipement en cause

Les causes à suspecter diffèrent selon le niveau de la variabilité : entre lots, une évolution dans le temps des matériaux ou de l'état des équipements ; entre wafers, des différences de chambre ou d'ordre de traitement ; intra-wafer, l'uniformité de l'équipement. Quantifier la contribution de chaque facteur, par analyse de variance par exemple, permet de commencer par les actions les plus efficaces. Cela ne sert ni à fixer le prix ni la couleur.