Ausbeute und Qualitätskontrolle
Was ist der Zweck, die Streuung der Fertigung nach Faktoren wie Los zu Los, Wafer zu Wafer und innerhalb des Wafers getrennt zu bewerten?
- AZu erkennen, auf welcher Ebene die Streuung groß ist, und den verursachenden Prozess oder die Anlage einzugrenzen
- BDen Verkaufspreis des Produkts festzulegen
- CDie Farbe der Wafer anzugleichen
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Antwort: A. Zu erkennen, auf welcher Ebene die Streuung groß ist, und den verursachenden Prozess oder die Anlage einzugrenzen
Je nach Ebene der Streuung sind andere Ursachen zu vermuten: Ist sie von Los zu Los groß, die zeitliche Änderung von Material oder Anlagenzustand, von Wafer zu Wafer, Unterschiede der Kammer oder die Bearbeitungsreihenfolge, und innerhalb des Wafers die Gleichmäßigkeit der Anlage in der Fläche. Werden mit Varianzanalyse o. Ä. die Größen der einzelnen Faktoren bestimmt, kann mit der wirksamsten Gegenmaßnahme begonnen werden. Preis oder Farbe werden dadurch nicht bestimmt.