제조 산포를 로트 간·웨이퍼 간·웨이퍼 내 등의 요인별로 나누어 평가하는 목적으로 올바른 것은?

정답: A. 어느 계층의 산포가 큰지 파악하여 원인이 되는 공정이나 장비를 좁히기 위해

산포가 로트 간에 크면 재료나 장비 상태의 시간 변화, 웨이퍼 간에 크면 챔버의 차이나 처리 순서, 웨이퍼 내에서 크면 장비의 면내 균일성 등, 산포의 계층에 따라 의심해야 할 원인이 다릅니다. 분산 분석 등으로 요인별 크기를 구하면 가장 효과가 큰 대책부터 착수할 수 있습니다. 가격이나 색을 정하기 위한 것이 아닙니다.