在開放氣體管線或切換為其他氣體之前，以惰性氣體反覆進行加壓與排氣的操作稱為什麼？

正確答案：A. 循環吹驅（cycle purge）

循環吹驅是將管線內以氮等惰性氣體加壓後，再反覆進行抽真空或排氣的操作，藉此稀釋並趕出殘留的氣體與水分。每次濃度會以一定比例下降，例如在每次降為1/10的條件下，進行5次就能降到10萬分之一。在更換毒性氣體的鋼瓶時等，為了確保安全與純度而進行。

• A. 正確。是反覆加壓與排氣，趕出殘留氣體的操作。
• B. 乾式蝕刻是刻削薄膜的製程。
• C. 退火是熱處理的製程。