ガスのラインを開放したり、別のガスに切り替えたりする前に、不活性ガスでの加圧と排気を何度も繰り返す操作を何と呼ぶか。

正解：A. サイクルパージ

サイクルパージは、配管の中を窒素などの不活性ガスで加圧してから真空引きや排気をする操作を何度も繰り返し、残っている危険なガスや水分を徐々に薄めて追い出す方法です。毒性ガスのボンベの交換時などに、安全と純度の確保のために行います。

• A. 正しい。加圧と排気を繰り返して残ったガスを追い出す操作です。
• B. ドライエッチングは膜を削る工程です。
• C. アニールは熱処理の工程です。