공정 재료(가스와 케미칼)
가스 라인을 개방하거나 다른 가스로 전환하기 전에, 불활성 가스로 가압과 배기를 여러 번 반복하는 조작을 무엇이라고 합니까?
- A사이클 퍼지
- B건식 식각
- C어닐링
정답과 해설 보기
정답: A. 사이클 퍼지
사이클 퍼지는 배관 안을 질소 등의 불활성 가스로 가압한 뒤 진공 배기나 배기를 하는 조작을 여러 번 반복하여, 남은 가스와 수분을 희석해 몰아내는 방법입니다. 한 번마다 농도가 일정 비율로 낮아지므로, 예를 들어 1회에 1/10이 되는 조건이면 5회로 10만분의 1까지 낮출 수 있습니다. 독성 가스 봄베 교체 시 등에 안전과 순도를 확보하기 위해 실시합니다.
- A. 맞습니다. 가압과 배기를 반복하여 남은 가스를 몰아내는 조작입니다.
- B. 건식 식각은 막을 깎는 공정입니다.
- C. 어닐링은 열처리 공정입니다.