산화와 확산
같은 온도에서 불순물을 확산시킬 때, 확산 시간을 4배로 하면 불순물이 퍼지는 대략의 거리는 몇 배가 됩니까?
- A4배
- B16배
- C2배
정답과 해설 보기
정답: C. 2배
확산으로 불순물이 퍼지는 거리의 기준은 √(Dt)이며 시간의 제곱근에 비례하므로, 시간을 4배로 해도 거리는 2배밖에 되지 않습니다. 한편 확산 계수 D는 온도에 지수 함수적으로 의존하여 100 ℃ 차이로 약 1자릿수 바뀌므로, 확산을 얕게 억제하려면 시간보다 온도를 낮추는 효과가 큽니다. 선단 공정에서 밀리초 어닐링이 사용되는 것은 고온이더라도 시간을 극단적으로 짧게 하여 √(Dt)를 작게 하기 위해서입니다.
- A. 거리는 시간에 비례하는 것이 아니라 시간의 제곱근에 비례합니다.
- B. 16배는 시간의 제곱에 비례한다고 생각한 오류입니다.
- C. 올바릅니다. √4 = 2배입니다.