MOSFET
Welke relatie tussen de gatelengte (lengte van de gate-elektrode op het masker of na bewerking) en de effectieve kanaallengte van een MOSFET is in het algemeen juist?
- ADe effectieve kanaallengte is korter dan de gatelengte met de mate waarin source en drain zich zijdelings onder de gate hebben uitgebreid
- BDe effectieve kanaallengte is altijd langer dan de gatelengte
- CDe effectieve kanaallengte en de gatelengte zijn altijd volkomen gelijk
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. De effectieve kanaallengte is korter dan de gatelengte met de mate waarin source en drain zich zijdelings onder de gate hebben uitgebreid
Omdat onzuiverheden van source en drain zich door implantatie en warmtebehandeling een beetje zijdelings tot onder de gate-elektrode uitbreiden, is de effectieve kanaallengte aan beide zijden met de overlap korter dan de gatelengte. Het overlapgedeelte wordt de overlapcapaciteit tussen gate en source/drain en vergroot via het Miller-effect de vertraging. Bij geavanceerde generaties wordt de warmtebehandeling zeer kort gemaakt (milliseconde-anneal) om de uitbreiding te onderdrukken. Merk op dat generatienamen zoals '3 nm' niet overeenkomen met de werkelijke gatelengte.