Quelle est la relation générale entre la longueur de grille d’un MOSFET (longueur de l’électrode de grille sur le masque ou après usinage) et la longueur effective du canal ?

Réponse : A. La longueur effective du canal est plus courte que la longueur de grille, de la part dont la source et le drain s’étendent latéralement sous la grille

Les dopants de source et de drain s’étendent légèrement sous l’électrode de grille lors de l’implantation et des traitements thermiques ; la longueur effective du canal est donc plus courte que la longueur de grille, de la valeur des recouvrements des deux côtés. Les zones de recouvrement forment des capacités de recouvrement grille-source/drain qui, par effet Miller, augmentent le délai. Les nœuds avancés limitent cette extension par des recuits extrêmement brefs (recuit milliseconde). Par ailleurs, les noms de nœuds comme « 3 nm » ne correspondent pas à la longueur de grille réelle.