Welches Prinzip nutzt ein kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensor zur Erfassung der Beschleunigung?

Antwort: B. Änderung der Kapazität zwischen Elektroden durch die Auslenkung des beweglichen Teils (Masse)

Wirkt eine Beschleunigung, bewegt sich die an Federn gehaltene Masse aufgrund ihrer Trägheit, und der Abstand zu den kammförmigen festen Elektroden ändert sich. Die Kapazitätsänderung wird von einer Schaltung erfasst und daraus die Beschleunigung bestimmt. Auslenkung (höchstens einige nm) und Kapazitätsänderung (höchstens fF, 10⁻¹⁵ F) sind winzig, werden aber durch differentiellen Elektrodenaufbau und hochempfindliche Schaltungen ausgelesen. Wegen des einfachen Aufbaus, des geringen Verbrauchs und der geringen Temperaturempfindlichkeit wird er in Smartphones u. Ä. breit eingesetzt.