Interconnectprocessen
Hoe heet de structuur waarin de bedradingsbreedte smaller is dan de kristalkorrels en korrelgrenzen dwars over de bedrading liggen, en wat is het effect op elektromigratie?
- APoreuze structuur; de bestandheid tegen elektromigratie neemt af
- BAmorfe structuur; de bestandheid tegen elektromigratie neemt af
- CBamboestructuur; er zijn minder korrelgrensdiffusieroutes langs de bedrading, waardoor de bestandheid tegen elektromigratie toeneemt
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Bamboestructuur; er zijn minder korrelgrensdiffusieroutes langs de bedrading, waardoor de bestandheid tegen elektromigratie toeneemt
Wanneer de bedradingsbreedte kleiner is dan de kristalkorrelgrootte, liggen korrelgrenzen als bamboeknopen dwars over de bedrading (bamboestructuur). Doordat de korrelgrensroutes langs de bedradingsrichting, waarlangs atomen snel kunnen bewegen, verdwijnen, wordt elektromigratie door korrelgrensdiffusie onderdrukt, en bij aluminiumbedrading nam de levensduur sterk toe. Bij Cu-bedrading is diffusie aan het grensvlak aan de bovenzijde echter de belangrijkste route, dus de bamboestructuur alleen volstaat niet en verbetering van de cap is belangrijk.