Opkomende geheugentechnologieën
In welke stap van het logica-LSI-proces wordt het geheugenelement (MTJ) van MRAM gewoonlijk gemaakt?
- AIn het back-end-of-line-proces (BEOL), tussen de bedradingslagen
- BBij de fabricage van de siliciumwafer
- CNa het assembleren in de behuizing
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. In het back-end-of-line-proces (BEOL), tussen de bedradingslagen
De MTJ wordt gevormd in het back-end-of-line-proces (BEOL) na het gereedkomen van de transistoren, tussen de bedradingslagen. Het voordeel is dat embedden mogelijk is zonder het transistorproces te wijzigen en dat dezelfde MTJ-technologie gemakkelijk over generaties heen kan worden hergebruikt. Wel is een MTJ-materiaal nodig dat de warmtebehandeling in het BEOL-proces (circa 400 °C) doorstaat, en bij het bewerken van magnetische films worden speciale technieken zoals ionenbundelets gebruikt om herafzetting van metaal te voorkomen.