Welcher Umgebungsfaktor erfordert neben Schwingungen besondere Beachtung bei der Aufstellung von Elektronenstrahllithografiegeräten oder Elektronenmikroskopen?

Antwort: B. Schwankungen von Magnetfeldern, z. B. durch Stromkabel in der Umgebung oder Aufzüge

Da Elektronenstrahlen elektrisch geladen sind, werden sie schon durch geringe Magnetfeldschwankungen über die Lorentzkraft abgelenkt, was zu Positionsabweichungen beim Schreiben sowie zu Unschärfe und Flackern des Bilds führt. Schon Schwankungen von einigen Tausendstel der Stärke des Erdmagnetfelds können sich auswirken. Daher werden die Geräte entfernt von Starkstromkabeln, Transformatoren und Aufzügen aufgestellt, oder es werden magnetische Abschirmungen bzw. aktive Systeme zur Kompensation des Magnetfelds eingesetzt. Die Beleuchtungsfarbe hat keinen Einfluss.