Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Hoe verandert de grootte van de deeltjes die in een cleanroom moeten worden beheerst naarmate schakelingen verder worden verkleind?

  1. AGroter
  2. BKleiner
  3. COngewijzigd
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Kleiner

Deeltjes met een grootte die niet te verwaarlozen is ten opzichte van de patroonafmetingen veroorzaken defecten zoals kortsluiting of onderbreking van bedrading. Als richtwaarde kunnen deeltjes van circa de helft van de lijnbreedte fataal zijn, zodat bij kleinere lijnbreedtes en onderlinge afstanden door verkleining ook kleinere deeltjes moeten worden beheerst en de vereiste reinheid strenger wordt. Omdat kleinere deeltjes moeilijker te detecteren zijn, is bovendien vooruitgang in meettechniek vereist.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is de belangrijkste reden waarom wafers niet met blote handen mogen worden aangeraakt?
  2. Welke uitspraak over de reinheidsklassen van ISO 14644-1 is juist?
  3. Welke cleanroommethode houdt de reinheid in stand door schone lucht uit een deel van het plafond te blazen en met de lucht in de ruimte te mengen en te verdunnen? De reinheid is lager dan bij unidirectionele stroming, maar de installatiekosten zijn laag.
  4. Welk filter wordt gebruikt om moleculaire verontreinigingen (AMC) zoals ammoniak en organische stoffen uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?
  5. Welk apparaat in de luchtbehandeling van een cleanroom verwijdert stof uit de aangevoerde buitenlucht, regelt temperatuur en vochtigheid en voert die vervolgens toe aan de circulatielucht in de ruimte?