Comment évolue la taille des particules à maîtriser en salle blanche à mesure que la miniaturisation des circuits progresse ?

Réponse : B. Elle diminue

Les particules dont la taille n'est pas négligeable devant les dimensions des motifs provoquent des défauts comme des courts-circuits ou des coupures d'interconnexions. Une particule d'environ la moitié de la largeur de ligne pouvant être fatale, la réduction des largeurs et espacements impose de maîtriser des particules de plus en plus petites, et la propreté exigée devient plus stricte. Les petites particules étant plus difficiles à détecter, les techniques de mesure doivent aussi progresser.