클린룸과 장비
회로의 미세화가 진행됨에 따라 클린룸에서 관리해야 할 입자의 크기는 어떻게 바뀌는가?
- A커진다
- B작아진다
- C변하지 않는다
정답과 해설 보기
정답: B. 작아진다
패턴 치수에 비해 무시할 수 없는 크기의 입자는 배선의 단락이나 단선 등의 결함을 일으킵니다. 대략 선폭의 절반 정도 크기의 입자가 치명적일 수 있으므로, 미세화로 선폭과 간격이 작아지면 더 작은 입자까지 관리해야 하며 요구되는 청정도도 엄격해집니다. 한편 작은 입자일수록 검출하기 어려워지므로 계측 기술도 발전이 요구됩니다.
- A. 미세화가 진행될수록 작은 입자가 문제가 됩니다.
- B. 맞습니다. 더 작은 입자까지 관리가 필요해집니다.
- C. 치수가 작아지면 영향을 주는 입자의 크기도 달라집니다.