Welk apparaat wordt gebruikt om het aantal en de grootte van fijne deeltjes in de lucht van een cleanroom te meten?

Antwoord: A. Optische deeltjesteller (lichtverstrooiing)

Een optische deeltjesteller bestraalt aangezogen lucht met laserlicht en bepaalt de grootte van deeltjes uit de intensiteit van het verstrooide licht en het aantal uit het aantal lichtpulsen. Hij telt deeltjes tot circa 0,1 µm, wordt gebruikt voor het beoordelen van de ISO-klasse door te meten op vastgestelde posities en met een vast zuigvolume, en wordt ook permanent geplaatst om veranderingen in de reinheid dagelijks te bewaken. Er bestaan ook apparaten voor het tellen van deeltjes in vloeistoffen, die worden gebruikt voor het beheer van ultrazuiver water en chemicaliën.