Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Aussage zum FOUP ist richtig?

  1. ADie Lichtquelle eines Belichtungsgeräts
  2. BEin Gerät zum Polieren von Wafern
  3. CEin Behälter, in dem 300-mm-Wafer geschlossen transportiert und gelagert werden
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Antwort: C. Ein Behälter, in dem 300-mm-Wafer geschlossen transportiert und gelagert werden

Der FOUP (Front Opening Unified Pod) ist ein frontseitig zu öffnender, geschlossener Behälter für den Transport und die Lagerung von bis zu 25 Wafern mit 300 mm Durchmesser; beladen wiegt er etwa 8 kg. Da die Wafer nur im FOUP und im Inneren der Anlagen sauber gehalten werden müssen, lässt sich eine Kontamination vermeiden, ohne die gesamte Fabrik auf höchste Reinheit auszulegen. Abmessungen und Öffnungsmechanismus sind genormt, sodass der FOUP an Anlagen jedes Herstellers ansetzbar ist und z. B. per Deckentransport automatisch befördert werden kann.

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