プラズマドーピング란?

ぷらずまどーぴんぐ

ウエハをドーパントを含むプラズマに直接さらし、低エネルギーのイオンを注入する方法。高いドーズを速く入れやすく、フィンなどの立体構造にも比較的均一にドーピングしやすい。

일본어 명칭: プラズマドーピング