ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート)란?
げーとらすと
先にダミーのゲートでトランジスタを形成し、ソース・ドレインの活性化などの高温工程の後でダミーを取り除いて、High-k膜と金属ゲートに置き換える製法。
일본어 명칭: ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート)
관련 용어
CFET(相補型FET) DTCO(設計・技術協調最適化) EOT(等価酸化膜厚) FD-SOI(完全空乏型SOI) FinFET GAA(ゲートオールアラウンド) High-k/メタルゲート SADP(自己整合ダブルパターニング) ナノシート ランダムドーパントゆらぎ(RDF)