EOT(等価酸化膜厚)란?
いーおーてぃー
High-k膜などのゲート絶縁膜を、同じゲート容量を与えるSiO2膜の厚さに換算した値。物理的には厚くてもEOTは薄くでき、トンネル電流を抑えながらゲート容量を確保できる。
일본어 명칭: EOT(等価酸化膜厚)
관련 용어
CFET(相補型FET) DTCO(設計・技術協調最適化) FD-SOI(完全空乏型SOI) FinFET GAA(ゲートオールアラウンド) High-k/メタルゲート SADP(自己整合ダブルパターニング) ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート) ナノシート ランダムドーパントゆらぎ(RDF)