FD-SOI(完全空乏型SOI)란?
えふでぃーそい
埋め込み酸化膜の上の非常に薄いシリコン層にトランジスタをつくり、チャネルを完全に空乏化させる技術。チャネルの不純物を少なくでき、基板バイアスでしきい値電圧を調整しやすい。
일본어 명칭: FD-SOI(完全空乏型SOI)
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관련 용어
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