실리콘 웨이퍼
대구경 웨이퍼를 고온에서 열처리할 때 문제가 되는 「슬립」의 원인으로 올바른 것은?
- A웨이퍼 내 온도 차이나 자중에 의한 응력으로 결정면이 어긋나 전위가 들어간다
- B웨이퍼 표면에 이물질이 부착된다
- C불순물의 농도가 낮아진다
정답과 해설 보기
정답: A. 웨이퍼 내 온도 차이나 자중에 의한 응력으로 결정면이 어긋나 전위가 들어간다
고온에서는 실리콘의 강도가 크게 떨어지므로, 급격한 가열·냉각에 의한 웨이퍼 내 온도 차이나 지지 부분에 걸리는 자중에 의한 응력으로 결정면({111}면)이 미끄러져 전위(슬립)가 생깁니다. 외주의 지지 핀 부근에서 들어가는 경우가 많으며, 디바이스의 누설, 수율 저하, 노광의 중첩 어긋남의 원인이 됩니다. 승온·강온 속도를 낮추거나 지지 방법과 형상을 개선하여 방지합니다.
- A. 옳습니다. 응력으로 결정면이 어긋나 전위가 들어갑니다.
- B. 이물질의 부착은 파티클 문제이며 슬립이 아닙니다.
- C. 불순물 농도의 변화는 슬립이 아닙니다.