실리콘 웨이퍼
CZ법의 인상 초기에 종결정 직후를 가늘게 줄여 성장시키는(네킹) 목적은 무엇인가?
- A종결정을 절약하기 위해
- B산소 농도를 높이기 위해
- C종결정을 융액에 담갔을 때 열충격으로 들어간 전위를 결정 밖으로 빼내어 무전위 결정으로 만들기 위해
정답과 해설 보기
정답: C. 종결정을 융액에 담갔을 때 열충격으로 들어간 전위를 결정 밖으로 빼내어 무전위 결정으로 만들기 위해
종결정을 고온의 융액에 담그면 열충격으로 전위가 들어갑니다. 직경을 3~5 mm 정도로 가늘게 줄여 성장시키면, 전위가 성장 방향에 대해 비스듬히 달리는 성질 때문에 결정 표면으로 빠져나가고, 그 후에는 무전위 단결정을 굵게 성장시킬 수 있습니다(대시법, 1958년). 300 mm에서 수백 kg의 잉곳도 이 가는 넥 부분으로 지탱하며 끌어올립니다.
- A. 종결정 절약이 목적은 아닙니다.
- B. 산소 농도를 조정하는 방법이 아닙니다.
- C. 옳습니다. 전위를 빼내어 무전위 결정으로 만듭니다.