실리콘 웨이퍼

FZ 실리콘에 중성자를 조사하여 실리콘의 일부를 인으로 변환해 균일한 n형으로 만드는 방법은 무엇인가?

  1. A중성자 조사 도핑(NTD)
  2. B이온 주입
  3. C열 확산
정답과 해설 보기

정답: A. 중성자 조사 도핑(NTD)

실리콘에 중성자를 쬐면 약 3% 포함된 동위원소 Si-30이 중성자를 흡수하여 Si-31이 되고, 반감기 약 2.6시간에 β 붕괴하여 인(P-31)이 됩니다. 중성자는 결정 전체에 균일하게 도달하므로, 편석이 있는 통상의 도핑으로는 얻을 수 없는 저항률 편차가 수 % 이하인 매우 균일한 n형 웨이퍼를 얻을 수 있습니다. 원자로를 사용하므로 공급량이 제한적이며, 고내압 파워 디바이스(사이리스터나 IGBT)에 사용됩니다.

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