공정 재료(가스와 케미칼)
상온에서 액체인 원료(TEOS 등)를 CVD 장치에 가스로 공급하는 방법으로 올바른 것은 무엇입니까?
- A캐리어 가스를 액체에 통과시켜 증기를 운반하거나(버블링), 액체를 기화기로 기화시켜 공급한다
- B액체를 굳혀 가루로 만들어 넣는다
- C액체를 그대로 반응로에 붓는다
정답과 해설 보기
정답: A. 캐리어 가스를 액체에 통과시켜 증기를 운반하거나(버블링), 액체를 기화기로 기화시켜 공급한다
액체 원료는 온도를 관리한 용기에 캐리어 가스를 불어넣어 증기를 운반하는 버블링이나, 액체의 유량을 측정하여 기화기로 단숨에 기화시키는 방법으로 가스화하여 반응로로 보냅니다. 버블링은 액체 온도 변화로 공급량이 흔들리기 쉬워, 기화기 방식이 더 정밀하게 제어할 수 있습니다. TEOS는 끓는점이 약 168 ℃인 액체이며, 배관도 가열하여 다시 액체로 돌아가지 않게 합니다. 액체 그대로 부어서는 균일한 성막이 되지 않습니다.
- A. 맞습니다. 버블링이나 기화기로 기체로 만들어 공급합니다.
- B. 가루로 만들어 넣는 방법은 일반적이지 않습니다.
- C. 액체 그대로 부으면 균일한 성막이 되지 않습니다.