계측과 분석

패키지 내부의 솔더 접합 보이드나 와이어의 형상 등을 패키지를 파괴하지 않고 입체적으로 관찰하는 데 사용되는 방법은?

  1. A엘립소메트리
  2. BSIMS
  3. CX선 CT
정답과 해설 보기

정답: C. X선 CT

X선 CT는 시료를 회전시키면서 여러 방향에서 X선 투과 이미지를 촬영하고, 계산으로 내부의 3차원 영상을 재구성하는 방법입니다. 패키지를 파괴하지 않고 BGA 솔더 볼의 보이드나 브리지, 와이어 변형, 내부 균열 등을 임의의 단면에서 관찰할 수 있습니다. 한 방향 투과 이미지만 사용하는 2차원 X선 검사보다 시간이 걸리지만, 겹친 구조를 분리해서 볼 수 있습니다.

  • A. 엘립소메트리는 박막의 두께나 광학 상수를 측정하는 방법입니다.
  • B. SIMS는 시료를 깎으면서 원소를 분석하는 파괴적인 방법입니다.
  • C. 올바릅니다. X선 투과 이미지로 내부를 입체적으로 재구성합니다.
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