이온 주입
감속 모드(높은 에너지로 운반한 뒤 웨이퍼 직전에서 감속하는 방식)의 저에너지 주입에서 주의가 필요한 '에너지 컨태미네이션'의 원인은 무엇인가?
- A감속하기 전에 중성화된 이온이 감속되지 않고 높은 에너지 그대로 웨이퍼에 도달하는 것
- B웨이퍼 온도가 너무 낮은 것
- C질량 분석 자석이 너무 강한 것
정답과 해설 보기
정답: A. 감속하기 전에 중성화된 이온이 감속되지 않고 높은 에너지 그대로 웨이퍼에 도달하는 것
감속 모드에서는 빔을 수십 keV의 높은 에너지로 운반한 뒤 웨이퍼 직전에서 감속하여 수백 eV~수 keV로 주입합니다. 저에너지 빔은 공간 전하로 퍼지기 쉬우므로 높은 전류를 얻기 위한 방법입니다. 그러나 도중에 잔류 가스와 충돌하여 중성화된 입자는 전계로 감속되지 않고 높은 에너지 그대로 도달하여 목표보다 깊이 들어갑니다. 수 %의 혼입만으로도 얕은 접합을 해치므로, 진공도 향상이나 편향 필터로 제거합니다.
- A. 올바릅니다. 중성화된 입자가 감속되지 않고 도달하는 것이 원인입니다.
- B. 웨이퍼 온도는 에너지 컨태미네이션의 원인이 아닙니다.
- C. 질량 분석의 세기가 원인이 아닙니다.