이온 주입

이온 주입 후 어닐링(열처리)을 하는 주된 목적으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A주입한 불순물을 증발시켜 제거하기 위해
  2. B결정 결함을 회복시키고, 불순물을 격자 위치에 놓아 전기적으로 활성화하기 위해
  3. C웨이퍼 표면에 두꺼운 산화막을 성장시키기 위해
정답과 해설 보기

정답: B. 결정 결함을 회복시키고, 불순물을 격자 위치에 놓아 전기적으로 활성화하기 위해

주입된 이온은 실리콘 결정을 흐트러뜨리고, 대부분 도너나 억셉터로 작동하지 않는 격자간 위치에 머물기 때문에 주입 직후에는 거의 전기적으로 작동하지 않습니다. 어닐링으로 결정 손상을 회복시키고 불순물을 격자 위치로 치환하여 활성화합니다. 불순물이 과도하게 확산되지 않도록 램프로 수 초간 가열하는 RTA나 밀리초 이하의 플래시 램프·레이저 어닐링이 사용됩니다.

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