진공 증착과 비교했을 때 스퍼터링의 장점으로 올바른 것은?

정답: C. 합금이나 화합물 타깃의 조성을 비교적 유지한 채 성막할 수 있고 막의 밀착성도 좋다

증착에서는 합금의 성분마다 증기압이 다르기 때문에 증발하기 쉬운 성분이 먼저 날아가 막의 조성이 어긋납니다. 스퍼터에서는 타깃 표면에서 원자를 물리적으로 튀어나오게 하므로, 표면 조성이 안정되면 타깃과 거의 같은 조성으로 성막할 수 있습니다. 또한 날아오는 원자의 에너지가 수 eV~수십 eV로 증착(약 0.1 eV)보다 높아 막이 치밀하고 밀착성도 좋으며, 대면적을 균일하게 성막하기 쉽다는 장점이 있습니다.