CMP와 세정

세정 후 웨이퍼를 건조하는 공정에서 IPA(이소프로필알코올)를 사용하는 주된 목적은?

  1. A워터마크(건조 얼룩) 발생 방지
  2. B웨이퍼 표면 식각
  3. C웨이퍼 표면 산화
정답과 해설 보기

정답: A. 워터마크(건조 얼룩) 발생 방지

물이 표면에 남은 채 자연 건조되면 녹아 있던 실리카나 오염물이 남아 워터마크(얼룩)가 생기며, 특히 소수성 실리콘 표면에서 잘 발생합니다. IPA는 물과 잘 섞이고 표면장력이 물의 약 1/3로 작아서, 물과 치환하여 빠르게 건조하거나 액면에 분사한 IPA 증기에 의한 표면장력 차이(마랑고니 효과)로 물을 웨이퍼에서 끌어내어 얼룩과 미세 패턴의 쓰러짐을 방지합니다.

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