클린룸과 장비

클린룸의 습도를 지나치게 낮추지 않도록 관리하는 이유의 하나로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A곰팡이가 생기기 쉬워지기 때문에
  2. B습도가 너무 낮으면 정전기가 발생하기 쉬워지기 때문에
  3. C조명이 어두워지기 때문에
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정답: B. 습도가 너무 낮으면 정전기가 발생하기 쉬워지기 때문에

공기가 지나치게 건조하면 정전기가 발생하기 쉬워져 웨이퍼에 파티클이 부착되거나 정전기 방전으로 디바이스가 손상되는 원인이 됩니다. 반대로 습도가 너무 높으면 레지스트의 감도나 밀착성이 변하고 금속의 부식도 진행됩니다. 그래서 클린룸의 습도는 40~45%RH 전후의 일정 범위로 관리되는 경우가 많습니다. 곰팡이나 조명의 밝기가 이유는 아닙니다.

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