클린룸과 장비

클린룸의 주요 발진원 중 하나로, 클린 슈트 착용으로 대책을 세우는 것은 무엇인가?

  1. A작업자(사람)
  2. B웨이퍼
  3. C천장의 필터
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정답: A. 작업자(사람)

사람은 피부 조각, 머리카락, 의복 섬유 등을 끊임없이 방출하며, 걷기만 해도 1분에 수백만 개의 입자를 내보내기도 하는 주요 발진원입니다. 그래서 작업자는 전신을 덮는 클린 슈트와 마스크, 장갑을 착용하고 에어 샤워를 거쳐 입실합니다. 사람을 웨이퍼로부터 멀리하는 자동화도 발진을 줄이는 중요한 수단입니다. 천장의 필터는 입자를 제거하는 쪽입니다.

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