클린룸, 특히 노광 구역에서 온도를 매우 엄격하게 일정하게 유지하는 주된 이유는 무엇인가?

정답: B. 웨이퍼나 장비의 열팽창으로 인한 위치 어긋남이나 치수 오차를 막기 위해

실리콘의 열팽창 계수는 약 2.6×10⁻⁶ /K로, 300 mm 웨이퍼는 온도가 0.1 ℃만 변해도 약 80 nm 늘어나거나 줄어듭니다. 노광에서는 나노미터 단위의 오버레이 정밀도가 요구되므로, 약간의 온도 변화도 위치 어긋남의 원인이 됩니다. 그래서 노광 장비 내부와 주변에서는 온도를 ±0.1 ℃ 이하의 좁은 범위로 관리합니다. 작업자의 쾌적함이나 조명만을 위한 것이 아닙니다.