Rendement et contrôle qualité
Quel est l'objectif d'une inspection des défauts à chaque étape pour n'extraire que les défauts apparus depuis l'étape précédente ?
- AIdentifier l'étape (l'équipement) où les défauts sont apparus
- BFixer le prix des puces
- CUniformiser la couleur des wafers
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Réponse : A. Identifier l'étape (l'équipement) où les défauts sont apparus
En comparant les résultats d'inspection étape par étape et en soustrayant, par correspondance de coordonnées, les défauts déjà détectés à l'inspection précédente, on obtient les défauts apparus dans les étapes intermédiaires (adders). On peut ainsi identifier l'étape ou l'équipement générateur de défauts et y remédier. Outre les wafers produits, on surveille aussi la propreté de chaque équipement en y faisant passer des wafers vierges et en comptant les particules ajoutées.
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