Rendement et contrôle qualité
Sur un même wafer, pourquoi le nombre de puces bonnes par wafer augmente-t-il fortement lorsque la surface des puces diminue ?
- ALes puces deviennent plus lourdes
- BLa couleur du wafer change
- CLe nombre de puces augmente et, de plus, la probabilité qu'une puce contienne un défaut diminue
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Réponse : C. Le nombre de puces augmente et, de plus, la probabilité qu'une puce contienne un défaut diminue
Réduire la taille des puces augmente le nombre de puces par wafer. De plus, à densité de défauts égale, plus une puce est petite, plus la probabilité qu'elle contienne un défaut est faible et plus le rendement est élevé. Par exemple, avec D=0.2 défaut/cm², passer de 2 cm² à 1 cm² double environ le nombre de puces et fait passer le rendement d'environ 67 % à environ 82 %, soit environ 2.4 fois plus de puces bonnes. Le poids et la couleur n'interviennent pas.
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