Comment s’appelle l’amortissement produit par l’expulsion du gaz interposé lorsqu’une plaque mobile MEMS se déplace vers une surface fixe toute proche ?

Réponse : B. Amortissement par film comprimé (squeeze film damping)

Lorsque l’entrefer entre la plaque mobile et la surface fixe n’est que de quelques µm, chaque mouvement de la plaque expulse ou aspire le gaz de l’entrefer, ce qui crée une forte résistance visqueuse. C’est l’amortissement par film comprimé, inversement proportionnel au cube de l’entrefer. Dans les accéléromètres, il sert à atténuer les vibrations et à régulariser la réponse ; dans les gyroscopes et résonateurs, il réduit le facteur Q, et on l’ajuste en perçant de nombreux trous dans la plaque ou en scellant sous vide.