Wie heißt die Dämpfung, die entsteht, wenn sich eine bewegliche Platte von MEMS auf eine ganz nahe feste Fläche zubewegt und dabei das dazwischenliegende Gas herausgedrückt wird?

Antwort: B. Squeeze-Film-Dämpfung

Ist der Spalt zwischen beweglicher Platte und fester Fläche mit einigen µm eng, wird bei jeder Plattenbewegung das Gas im Spalt herausgedrückt oder angesaugt, und es entsteht ein großer viskoser Widerstand. Das ist die Squeeze-Film-Dämpfung, die umgekehrt proportional zur dritten Potenz des Spalts zunimmt. Bei Beschleunigungssensoren wird sie genutzt, um Schwingungen zu dämpfen und das Ansprechen zu glätten, bei Gyros und Resonatoren senkt sie den Gütefaktor Q und wird daher durch viele Löcher in der Platte oder Vakuumkapselung eingestellt.