Qu'est-ce que la précision de superposition (overlay) en lithographie ?

Réponse : B. La précision avec laquelle un nouveau motif peut être superposé au motif réalisé à l'étape précédente

Un LSI étant fabriqué en superposant des dizaines de couches de motifs, chaque couche doit être alignée précisément sur la précédente ; la faiblesse de l'écart correspond à la précision de superposition. On exige à titre indicatif environ 1/4 à 1/5 de la largeur de ligne, soit quelques nm ou moins pour les produits avancés (une dizaine d'atomes). On mesure position, rotation et dilatation à l'aide des marques d'alignement du wafer pour corriger, en tenant compte aussi des déformations thermiques du masque et du wafer et des distorsions créées aux étapes précédentes.