Procédés d'interconnexion

Lors des essais d'électromigration, on observe que les interconnexions plus courtes qu'une certaine longueur ont une durée de vie fortement allongée (la dégradation progresse à peine). Quel est le nom de ce phénomène ?

  1. AEffet Blech (effet de ligne courte)
  2. BEffet Miller
  3. CEffet Early
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Réponse : A. Effet Blech (effet de ligne courte)

Lorsque l'électromigration transporte les atomes dans une direction, un gradient de contrainte se forme aux extrémités de l'interconnexion et engendre un flux d'atomes en sens inverse (backflow). Si l'interconnexion est courte, ce reflux équilibre le flux dû au courant et la dégradation progresse à peine. Cet effet Blech, selon lequel aucune défaillance ne survient si le produit densité de courant × longueur (produit jL) est inférieur à une valeur critique (de l'ordre de quelques milliers de A/cm pour le Cu), sert à assouplir les règles de densité de courant des interconnexions courtes.

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