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Croissance épitaxiale

Dans la courbe de balancement (rocking curve) de diffraction des rayons X utilisée pour évaluer la qualité cristalline d'une couche épitaxiale, que signifie une faible largeur à mi-hauteur du pic ?

  1. AQue l'inclinaison, la mosaïcité et les défauts du cristal sont faibles, donc que la qualité cristalline est bonne
  2. BQue la concentration de dopants est élevée
  3. CQue la couche est épaisse
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Réponse : A. Que l'inclinaison, la mosaïcité et les défauts du cristal sont faibles, donc que la qualité cristalline est bonne

La courbe de balancement mesure l'intensité d'un pic de diffraction donné en faisant varier progressivement l'angle de l'échantillon, le détecteur restant fixe. Les dispersions d'orientation du cristal (mosaïcité) et les dislocations élargissant le pic, une largeur à mi-hauteur (FWHM) plus faible indique une meilleure qualité cristalline. Elle vaut quelques secondes d'arc pour un silicium quasi parfait et quelques centaines de secondes d'arc pour du GaN sur saphir ; elle sert aussi à estimer la densité de dislocations.

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