Epitaxie

Was bedeutet eine geringe Halbwertsbreite des Peaks in der Röntgenbeugungs-Rocking-Kurve zur Bewertung der Kristallqualität von Epischichten?

  1. ADass Kristallverkippung, Mosaizität und Defekte gering sind und die Kristallqualität gut ist
  2. BDass die Dotierungskonzentration hoch ist
  3. CDass die Schicht dick ist
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Antwort: A. Dass Kristallverkippung, Mosaizität und Defekte gering sind und die Kristallqualität gut ist

Eine Rocking-Kurve entsteht, indem bei fester Detektorposition der Probenwinkel schrittweise verändert und die Intensität eines bestimmten Beugungspeaks gemessen wird. Bei starker Streuung der Kristallorientierung (Mosaizität) oder vielen Versetzungen verbreitert sich der Peak; je kleiner die Halbwertsbreite (FWHM), desto besser ist die Kristallqualität. Bei nahezu perfektem Silizium beträgt sie einige Bogensekunden, bei GaN auf Saphir einige hundert Bogensekunden; sie wird auch zur Abschätzung der Versetzungsdichte verwendet.

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