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Semi-conducteurs composés

Pourquoi les déchets et résidus d'usinage des plaquettes de GaAs exigent-ils des précautions ?

  1. AParce qu'ils contiennent des substances radioactives
  2. BParce qu'ils contiennent de l'arsenic et doivent être gérés et traités comme substances dangereuses
  3. CParce qu'ils explosent au contact de l'air
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Réponse : B. Parce qu'ils contiennent de l'arsenic et doivent être gérés et traités comme substances dangereuses

Le GaAs contient environ moitié d'arsenic toxique (environ 52 % en masse) ; les poussières et effluents de rectification et de polissage ainsi que les plaquettes mises au rebut doivent être traités conformément à la réglementation comme déchets industriels spéciaux, avec récupération de l'arsenic. Aspiration locale et équipements de protection évitent l'exposition des opérateurs. L'arsine (AsH3) utilisée en fabrication est encore plus toxique et requiert une détection de gaz rigoureuse et des installations d'abattement.

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