Warum ist bei der Handhabung von Bearbeitungsabfällen und Abfällen von GaAs-Wafern Vorsicht geboten?

Antwort: B. Weil sie Arsen enthalten und als Gefahrstoff angemessen verwaltet und entsorgt werden müssen

GaAs enthält etwa die Hälfte (ca. 52 Gew.-%) giftiges Arsen; Staub und Abwasser aus Schleif- und Polierprozessen sowie entsorgte Wafer müssen gesetzeskonform z. B. als besonders überwachungsbedürftiger Industrieabfall behandelt werden, und das Arsen wird zurückgewonnen. Um die Exposition der Beschäftigten zu vermeiden, werden lokale Absaugung und Schutzausrüstung eingesetzt. Das bei der Herstellung verwendete Arsin (AsH3) ist noch giftiger und erfordert strenge Gasdetektion und Abgasreinigungsanlagen.